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菲索干涉仪（Fizeau interferometer）

发布者： [发表时间]：2019-07-29 [来源]： [浏览次数]：

Zygo菲索干涉仪运用移相干涉原理，提供高精度的平面面形、球面面形、曲率半径、样品表面质量、传输波前的测量和分析。

技术指标

重复精度：6.3nm（RMS）

测试精度：取决于标准镜精度